本产品采用高品质坡莫合金棒材、板材或锻件,通过高精度CNC数控铣削、车削及精密线切割等工艺联合加工而成。产品表面呈干净的机加工原色,结构刚性强、平面度高。该组件专为对结构刚度、装配定位精度及磁屏蔽一体化有极高要求的高端工业设备设计。
核心特征:
1. 高刚性复杂框架与腔体加工
依托多轴CNC数控加工中心,可一次性完成大尺寸框架的精密铣削、微孔钻削及复杂轮廓成型。产品整体刚性强、无焊接变形隐患。
2. 多面一体化精密成型
通过车铣复合或多工序高精度衔接,实现如圆筒形法兰底座、多边形腔体等立体结构的精确加工。基准统一、成型度高,可作为具有磁屏蔽功能的结构基座,直接承载内部精密元器件,简化客户后续的组装层级。
3. 稳定的磁屏蔽与导磁性能
采用高镍含量(约80%)坡莫合金材质。与钣金折弯不同,机加工件通过去除材料成型,材料自身的晶粒组织和磁导率特性得到最大程度的保留。经合理的去应力时效处理后,能在复杂的受力工况下保持稳定的高初始磁导率(μi),有效杜绝外磁场干扰。
主要用途:
高端半导体设备: 作为光刻机、离子注入机、晶圆检测设备中高刚性磁屏蔽底座与精密承载框架,提供超高平面度的安装基准。
精密测量仪器与光学设备: 应用于高精度激光干涉仪、电子显微镜等设备的内部磁屏蔽隔板与核心结构支撑架,确保关键光路或探测信号不受电磁干扰。
航空航天仪器舱: 作为航天器内部精密仪器安装平台或屏蔽舱体,在严苛的温变与振动工况下提供稳定的结构支撑与磁防护。
定制化传感器模组: 用于多通道磁阻传感器阵列、高精度电流互感器的复杂金属底座与腔体屏蔽罩,实现精确定位与隔离。

机加工件
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